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(1)沉降缝隔开式;使沉降缝在洁净室与机房之间通过,起分割作用;
(2)夹壁墙隔开式;如果机房紧靠洁净室,不是共用一面墙隔墙,而是各自有各自的隔墙,而两面隔墙之间留有一定宽度的夹缝;
(3)辅助室隔开式;在洁净室与机房之间设辅助室,起缓冲作用;