空气洁净度。这是万级洁净车间的核心标准，其空气洁净度应达到每立方米不超过10万个粒子。
温度和湿度。车间的温度通常应保持在20℃至25℃，相对湿度控制在45%至60%。
空气流速。车间内空气流速应控制在0.3至0.5米/秒。
装饰面材料。墙壁、地面和天花板应使用抗静电、防尘、易清洁的面材料。
清洁设备。车间应配备空气净化器、空气过滤器和地板清洁机等。
车间面积。设计面积应适当，以保证洁净区的可操作性。
灰尘和静电控制。洁净车间内杂物、垃圾应及时清理，注意防止静电和静电相关的问题。
基础设施。包括供电、给水、通风、照明、排水等方面。