近年来随着我国微电子制造、半导体业的发展,净化车间的应用也越来越广泛,如微电子制造 、半导体 、生物制药、汽车电子、食品加工等行业都在应用洁净技术,因此,净化车间的施工对我们来说也就越来越重要。
净化车间是指将一定空间范围之内空气中的微粒子、有害空气、等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。
建设净化车间工程是涉及到众多学科的综合型工程,好的设计方案是工程完美实现的基础,也是前提条件。当前,科学技术日新月异,各类工业产品加工生产过程趋向精密化、微型化,特别是微电子、生物、药品、精密机械加工等高速发展,使洁净技术得到日益广泛的应用。洁净厂房设计的主要任务是控制生产环境中的含尘数量,保障室内合格的洁净度。方案设计是前提,施工安装是基础。所有的设计都需要施工安装才能落地实施。根据多年施工经验,分享一种净化车间施工技术和工艺,仅供大家参考。本工艺主要适用于电子、半导体厂 房的净化车间的制作、安装、测试,同时也适用于医药、食品等厂房的洁净室的施工 。
按各施工工序结合洁净管制要求,施工进行分区和分阶段进行施工和管制。分成四区进行有序的施工,分成三阶段进行施工管制:
一般洁净阶段 :
指常规的设备安装阶段,包括一些机械设备、送排风系统及吊顶支架等的安装。这个阶段的旌工主要围绕产尘工序,在四周壁板安装前,要检查地面、设备基础,根据施工现场做初步 的地面处理,避免在做环氧前产生大量灰尘,壁板放好基准线后,可以局部安装壁板,以方便上层吊顶板的定位上层吊顶板定位后要及时核对所有预留洞,金属壁板安装前,所有在水泥基层上产尘的作业都应施工完毕,随后就可进行四周壁板和上层吊顶板的安装J:层吊顶板安装完毕,静压箱内的水电安装开始进行,这是一道关键工序,涉及的专业多,关系着整个施工的进度,因此必须在施工前对安装的交叉部位进行剖面分析,总的安装顺序遵从风管一水管路一桥架一电气、消防管线 。
由于架空地板的放线需要根据顶板的龙骨位置定位。所以干盘管的安装不能保证一次到位, 必须采用可调节 式,现场采用c型钢导轨式安装方式。为增加支吊架的承载,导轨安装时牙杆需穿过上层吊顶板与水泥楼板固定,考虑上层吊顶板采用的是岩棉金属壁板,为减少产 尘,牙杆需套橡胶垫用锁母与上项板锁紧。所有在上顶板固定的灯具和消防设备,采用自攻螺丝时都应套上橡胶垫固定。由于这道工序安装时间长、施工区域大,所以在安装前,应对安装区域进行划分,分区域完善,以便吊顶龙骨按区域及时插入施工。对于区域内的外大门和一些预留洞,要采用薄PVC板封堵。以上工作完成后要及时组织验收,办理隐蔽工程报验。
施工过程要控制好成品的保护和环境因素,由于四周壁板已安装完毕。在其他专业安装时如不注意很容易造成壁板的损害,因此水电安装前一方面要加强教育,另一方面要在四周拉上警示带,以提醒施工人员,洁净室环境的前期控制对施工的后期管理有很重要的意义,要使施工人员从一开始就要养成良好的环境意识,另外每天还需安排固定人员进行清扫。在以上工作临近结束前,清洁工作要避免用水,采用吸尘器清洁,以便为自流平的施工创造条件。
非常洁净阶段 :
此阶段自流平己施工完毕,顶上部安装工作己基本完成 ,因此进入洁净室内的施工以及进入人数都要进行不同于阶段的控制。一般设备的工艺管线都会布置在此区域,故安装前也必须进行认真的分析,避免专业交叉造成安装困难,地板下的管线需要固定在架空地板的立柱上,采用u型卡固定C型钢作为管线的支架,所有支架都要保证良好的镀锌层,C型钢两头要作好封堵,内部产生的垃圾要及时清理。架空地板在内隔墙安装前应用 PVC薄膜进行防护 。
隔墙和风淋室等安装完后,要组织地板下的隐蔽验收。验收合格后,现场需要组织的清理工作,包括静压箱内的所有安装完毕的材料及设备。清理完成后,可以进行壁板的撕膜打胶工作。此项工作完成后,工程进入洁净管制阶段 。
超级洁净阶段:
指洁净室结构完成后的后施工阶段。在此阶段,主要进行过滤器、风淋室等对洁净等级有极高的要求的设备的安装,包括工艺管线以及一些测试工作。此阶段的施工需要按照正式的洁净要求进行管制:人员进入需要登记和办理批准手续:全部人员需 要穿洁净服和从风淋室进入:工作区域要有专门穿洁净服清洁的人员:所有磨 、切 、割工作都应在工作区外进行。空吹结束后,工程进入空态测试阶段。