随着电子产业的不断发展，对资源的节约和回收利用的要求也日益提高。ITO靶材中含有昂贵的铟元素，因此开发有效的回收方法变得至关重要。

化学回收法： 化学回收法主要是通过化学溶解或还原反应将ITO薄膜中的铟元素分离出来。这一过程通常包括酸溶解、络合剂处理等步骤，终得到含铟的化合物。随后，通过进一步的化学反应或电化学方法，可以提纯得到高纯度的铟。

物理回收法： 物理回收法主要通过物理手段分离ITO薄膜中的铟和锡。这包括磨碎、筛分、磁选等步骤。研究表明，物理回收法可以有效地提高铟的回收率，并且对环境友好。

电化学回收法： 电化学回收法利用电化学反应将ITO薄膜中的铟还原出来。这通常需要在合适的电解液中进行电解，通过施加电流来促使铟在电极上析出。这一方法对于回收铟具有潜力。