噪音控制是其中的一项重要工作。电子生产过程中的噪音可能会对产品质量和员工健康产生不良影响,因此需要采取措施进行噪音防护。此外,车间的照明、地面材料等也需要考虑,以提供良好的工作环境。
电子净化车间一般要求洁净度在10万级标准以上的车间,主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。根据洁净度不同分为100级(小于3.5个),1000级(小于35个),10000级(小于350个),100000级(小于3500个)。
电子工厂净化厂房特点
>电子产品生产发展迅猛
IC特征尺寸0.05u m,12" ~16" ,64G
TFT第六代产品
对化学污染物的严格要求
大面积、大体量、组合式、多层洁净厂房
投资大、能量消耗大
净化工程包括:乱流式、乱流式、复合式。
1、乱流式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
2、层流式
层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为Class1~100。
3、复合式
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。