污染物微粒聚集在组件不适当的位置上可能会损害其功能或者使其彻底报废。柴油喷射技术就是一个很好的例子。从1996年开始，在五年时间里这项技术性能迅速提高，结果是喷射压力越来越高、喷嘴尺寸越做越小。高压泵的压力在2000巴以上，燃料通过直径大约为100μm的孔注入燃烧室。在生产这类系统时只是保证不同的组件高度清洁是不够的，组装工艺也必须在高度清洁的环境下进行。
单向流洁净室：单向流洁净室气流的特征是流线平行，以单一方向流动，并且在断截面上风速一致，有垂直单向洁净室，准垂直单向流，水平单向流洁净室等。
按受控粒子的性质划分
（1）工业洁净室：受控粒子为尘埃等非生物粒子的洁净室。
（2）生物洁净室：受控粒子为生物粒子的洁净室。
对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选用或亚过滤器（洁净级别低时）作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。