超纯水机是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，超纯水机将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。 超纯水机又称做:超纯水器，超纯水设备，超纯水仪，超纯水系统，实验室超纯水器等。 超纯水机所生产的超纯水电阻率一般应大于10兆欧，10兆欧以上的水才叫超纯水。超纯水出水能达到18.25兆欧。
超纯水机是自来水经过精密滤芯和活性炭滤芯进行预处理，过滤泥沙等颗粒物和吸附异味等，让自来水变得更加干净，然后再通过反渗透装置进行水质纯化脱盐，纯化水进入储水箱储存起来，其水质可以达到国家三级水标准，同时反渗透装置产水的废水(亦称"浓水")排掉。反渗透纯水通过纯化柱进行深度脱盐处理就得到一级水或者超纯水，如果用户有特殊要求，则在超纯水后面加上紫外或者微滤、超滤等装置，除去水中残余的、微粒、热源等。
超纯水机的技术要求
1. 两级反渗透深度除盐，原水水质<2000μs，硬度<450ppm;
2. 反渗透纯水水质在到GB6682-2008三级水标准，超纯水优于GB6682-2008一级水标准
3. 系统除盐率≥99.5%，源水与废水比例1:3。.
4. 具有运行异常自我诊断(原水、预纯化水、超纯水的水质水量)，警示或系统自动停止运行。
5.智能故障判断(系统重要零组件:电磁阀、增压泵、UV灯、传感器等线上更换指示)。
超纯水机系统特点
1、选用静音泵，系统运行时无震动、无噪音、无电磁辐射，对工作环境无影响。
2、选用反渗透膜，性能稳定、脱盐率高、寿命长。
3、选用交换树脂制作(超)纯化柱，交换容量大，出水水质高。
4、选用全金属机箱，静电喷漆，可有效防止水汽锈蚀。
5、水路电路隔离，避免了潮湿环境对电路的影响。
超纯水机的应用领域
1、电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。
2、化工工艺用水、化学药剂、化妆品等用纯水。
3、单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装 、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件 、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺用纯水。4、纯净水设备，反渗透设备，锅炉软化水设备、工业软化水设备、食品行业软化水设备、家用软水机。