高压脉冲电源是高压电源的一种，是在高压直流电源的基础上增加了开关电路，从而输出脉冲幅度可调、脉冲宽度可调、脉冲频率可调、脉冲输出个数可设定的一种高压电源。高压脉冲电源的技术参数除了脉冲宽度、重复频率，单次放电能量也是非常重要的参数。对于一些特殊场合，高压脉冲电源的前后沿要求陡直，达到纳秒级，就需要特殊的开关器件和有效的控制储能电路。
高压脉冲电源特点是输出脉冲信号的上升沿下降沿时间短，重复频率高，上升沿和下降沿时间可做到小于50纳秒, 可以通过多圈电位器来调节电源输出脉冲的幅值、频率、脉宽的大小，面板带高精度数字表显示输出电压，并且还可远程控制输出脉冲电压的幅度、频率及脉宽。高压输出放电报警、互锁等功能。
高压脉冲电源的种类有很多，按高压脉冲电源的实现的方法其可分为机械开关式，高压固态开关式，和Marx网络(Marx发生器)等。其中高压固态开关式，和Marx网络可实现纳秒级的窄脉冲和很高的脉冲频率。
高压脉冲电源可广泛用于空气净化，放电等离子烧结、高压充电、纳米制备脉冲电源纳米制备脉冲电源高压放电、制作纳米材料、处理染料废水等多种场合。
一般高压脉冲电源可以提供超过兆瓦级(MW)脉冲功率电源，其基于的半导体开关技术，脉冲宽度主要为毫秒级（ms）到纳秒级（ns）的单脉冲与重复脉冲。相比与传统的脉冲功率晶体管，以及SMCT固态开关器件，利用新的基于RSD与DLD新一代的固态器件可以显著的提升脉冲功率的开关特性。其优异的高功率开关特性，可用于先进的激光物理，粒子加速器，雷达技术，核物理研究，污水与废弃物净化，电磁脉冲，电动液压等应用。