这类洁净室的洁净等级也有1～9级，气流组织形式有单向流、非单向流、混分流、矢量流，根据车间的情况和生产工艺要求，选用不同的气流组织。其中1～5级气流流型为单向流或混合流，风速0.2～0.45m/s；6级气流流型为非单向流，换气次数50～60次/h；7级气流流型为非单向流，换气次数15～25次/h；8～9级气流流型为非单向流，换气次数10～15次/h。
十万级洁净车间：指洁净级别，可以理解为无尘室，但是无尘室也是需要换气的，换进去的空气需要经过净化室净化，再送到无尘室。100000（10万）级要求每小时换气15-19次，完全换气后空气净化时间不超过40分钟。
这样的建筑平面设计程度也满足了洁净室的要求。洁净房内部的装饰材料分别是：吊顶为金属板，墙面为洁净室专用墙板，地面为洁净室专用回风地板。照明等内部设施充分考虑了洁净车间的特殊需要，均为不易起尘材料。人员进口处设风淋室，物料传输设传递窗。
风系统：新风经洗净，初过滤，中过滤与回风混合后进人空凋器，空凋器按洁净车间的热、湿负荷需求处理约20％的循环风量，空调器出风与经循环风机箱的回风再次混合至出风温度，回风经洁净室专用回风地板，通过1.5米深的回风层，回至空调器/循环风机箱。
水系统：由新设的二次泵将二次冷水在空调器、冷水槽之间循环。