低温等离子废气处理设备是一种新型的干法处理废气的处理设备，它改变了使用活性炭材料的工艺技术，无需处理原料，无需专人负责，无产生二次污染，换及维护保养方便，运行成本低廉，是废气治理的一项技术。适用于恶臭废气、苯、甲苯、二甲苯、苯等难难溶性物废气治理。
等离子处理设备又称低温等离子废气净化器。
本工艺在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。
低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使物质转变成或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得。
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1)电场+电子→电子
(2)电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
(3)活性基团+分子(原子)→生成物+热
(4)活性基团+活性基团→生成物+热
从以上过程可以看出，电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
低温等离子废气处理设备的特点：
1、操作方便：低温等离子体设备，操作简单，方便，无需专人看管，如遇故障自动停机报警。
2、能耗低：低温等离子体处理烟气，运行费用低廉，约2～5瓦时/米3。
3、运行环境要求低：在-60℃~+300℃的环境内均可正常运转，特别是在潮湿，甚至空气湿度饱和的环境下仍可正常运行。
4、设备使用寿命长：本设备性强，在酸性气体中蚀。