废气处理设备低温等离子体处理过程如下：
等离子体就是处于电离状态的气体，其英文名称是plasma，它是由美国科学muir，于1927年在研究低气压下汞蒸气中放电现象时命名的。等离子体由大量的子、中性原子、激发态原子、光子和自由基等组成，但电子和正离子的电荷数必须体表现出电中性，这就是"等离子体"的含义。等离子体具有导电和受电磁影响的许多方面与固体、液体和气体不同，因此又有人把它称为物质的第四种状态。
根据状态、温度和离子密度，等离子体通常可以分为高温等离子体和低温等离子体(包子体和冷等离子体)。其中高温等离子体的电离度接近1，各种粒子温度几乎相同系处于热力学平衡状态，它主要应用在受控热核反应研究方面。而低温等离子体则学非平衡状态，各种粒子温度并不相同。其中电子温度(Te)≥离子温度(Ti)，可达104K以上，而其离子和中性粒子的温度却可低到300~500K。一般气体放电子体属于低温等离子体。