静电问题所以在洁净室中特别严重,是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素,而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面,尼龙、的确良等工作服都有很高的电阻率,都易产生静电和集聚静电,在洁净室的静电灾害未被重视以前,这些材料料是被广泛采用的。
无尘室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室:
⑴天花板系统
包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
⑵空调系统
包括空气舱、过滤器系统、风车等。
⑶隔墙板(Partitional wall)
包括窗户、门。
⑷地板
包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。
⑸照明器具
包括日光灯、黄色灯管等。
⑹无尘室之建筑主体构造
一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,满足如下之条件:
A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;
B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;
C.吸湿性小;
D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高。
进出洁净室的管理
⒈进入洁净室的人员应严格要求执行人身净化制度、路线和顺 序。退出洁净室时,按如上顺序、路线进行,不允许将洁净用品带至门厅。
⒉若有吹淋室,按规定进行吹淋后,方可进入洁净室内。同时,严格按照风淋室的规格和使用要求,控制每次进入风淋室风淋的人数,不允许正在风淋室强行关闭运行风机或电源。一般经过风淋,人身表面散发的灰尘粒子数减少40—60 。
⒊为不干扰室内的洁净气流型式,在作业区侧不应放置物品,回风口附近不要堆放物;送风孔板下不应堵塞和堆放物品,生产操作应在洁净工作台或气流的上游进行。
⒋不允许将与生产无关的和容易产尘的物品带入洁净室内。
⒌严禁在洁净室内吸烟、饮食和进行非生产性活动。
⒍进入洁净室前,个人物品须放入指定的柜子,去掉化妆和首饰,换上指定的洁净服、鞋。
⒎戴帽时,应将头发全部遮住,鞋套应将裤脚下摆紧紧裹在鞋套。
⒏脱洁净工作服时,要避免工作服触及地面、桌子与其它物品,一般要由下至上脱去工作服,并存放在柜内或挂在规定的处所。
⒐退出洁净室时,在更衣区前不允许脱掉洁净工作服;脱去工作服后若再进入洁净室内,仍需按进入洁净室的规定顺序进行。
⒑退出洁净室时,可以不需要经过空气吹淋而进入更换区域。
无尘室与扩散的效果类似,当过滤材料带静电时,粉尘在滤材中滞留的时间越长,被材料吸附的可能性就越大,改变风速,带静电材料的过滤效率会明显改变,如果你材料上有静电,进行空调系统设计时就应该尽可能地减少通过每只过滤器的风量。
对于以惯性机理为主的大颗粒粉尘,根据传统理论,风速降低后,粉尘与纤维碰撞的几率会减少,过滤效率会随之降低,但在实践中这种影响并不明显,因为风速小了,纤维对粉尘的反弹力也小了,粉尘更容易被粘住。