低温等离子废气处理技术，采用双介质阻挡放电形式产生等离子体，所产生等离子体的密度大，初用于氟利昂类、哈隆类物质的分解处理，后延伸至工业恶臭、异味、有毒有害气体处理。
该技术节能、环保，应用范围广，所有化工生产环节产生的恶臭异味几乎都可以处理，并对二恶英有良好的分解效果。
等离子体工业废气处理技术已研制出标准化废气治理设备，利用所产生的电子、自由基等活性粒子激活、电离、裂解工业废气中的各组成份，使之发生分解，氧化等一些列复杂的化学反应，再经过多级净化，从而消除各种污染源排放的异味、臭味污染物，使有毒有害气体达到低毒化，保护人类生存环境。由于其对污染物分子的分解且处理能耗低等特点，为工业废气的处理开辟了一条新的思路。
等离子废气净化器的工作原理
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。
低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。（注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。）
等离子体反应区富含物质，如电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
等离子废气净化器的优点：
占地面积小；反应速度快，等离子废气净化器处理效果好，等离子废气净化器可将恶臭物质完全分解；启动、停止十分快捷，即开即用，不受气温影响，操作简单；反应过程中只需用电，不用投加其他辅助药剂和填料