等离子设备主要适用于各种材料的表面改性处理:表面清洗、表面活化、表面刻蚀、表面接枝、表面沉积、表面聚合以及等离子体辅助化学气相沉积:
表面改性:
纸张粘合,塑料粘接、金属锡焊、电镀前的表面处理
表面活化:
生物材料的表面修饰,印刷涂布或粘接前的表面处理,如纺织品的表面处理
表面刻蚀:
硅的微细加工,玻璃等太阳能领域的表面刻蚀处理,医疗器皿表面刻蚀处理
表面接枝:
材料表面特定基团的产生和表面活化的固定
表面沉积:
疏水性或亲水性层的等离子体聚合沉积
广泛应用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及污染治理等多种领域,是企业、科研院所进行等离子体表面处理的理想设备。