制氧设备包括空气压缩机、空气净化组件、空气储罐组件、氧氮分离组件、氧气储罐组件、氧气净化检测系统、电气控制系统、备用气源系统（用户自备）等七大部分组成。吸附压力高于大气压，一般在30～100Kpa，采用真空泵解吸。VPSA法是目前采用最多的一种制氧工艺，制氧电耗一般在0.32～0.5KWh/m3,装置规模300～10000 m3/h。（锂筛，CECA G5000 ,日本东漕）均压结束后，大气进气充压到接近大气压，鼓风机开始进气时空塔流速介于两床和三
目前工业空气分离方法主要有:传统的低温深冷技术分离工艺、新兴的非低温分离工艺膜分离法和变压吸附法。非低温分离工艺操作简单,成本低,是工业应用的主流。低温空气分离装置近十几年内在技术上取得了长足进步和发展,氧、氩提取率进一步提高,产品单位能耗进一步降低,系统可靠性也更有保证。深冷空分制氮以空气为原料，经过压缩、净化、用热交换使空气液化成为液空。液空主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸点不同，通过精馏，使它们分离来获得氮气。
在流程组织、机器、单元设备结构改进优化后,空分装置的技术经济指标也随之得到明显提高。主换热器、冷凝蒸发器和液化器为板翘式换热器是一种全铝金属结构新型组合式间壁式换热器，平均温差很是单位能耗不断降低的过程。下面将结合大型低温空分装置流程的发展,介绍几种常用空分流程的特点、空分流程的发展趋势和低温空分装置的一些技术现状及其发展的前景趋势。
空气压缩机空气压缩机为系统提供压力、流量及其它指标符合要求的空气源。
一般采用的品牌：阿特拉斯、康普艾等品牌，对空压机的运行稳定性及压缩空气含油量指标要求严格。必须严格按照空压机说明书要求时间保养；以免造成意外停机造成不需要的损失。